Topography and Refractive Index Measurement of a Sub-μm Transparent Film on an Electronic Chip by Correlation of Scanning Electron and Confocal Microscopy
Autore
Matthias Vaupel Carl Zeiss Microscopy GmbH, Germany (Agosto 2014)
Dimensione
1.71 MB
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Autore | Matthias Vaupel Carl Zeiss Microscopy GmbH, Germany (Agosto 2014) |
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